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EMS 150膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)

         石英晶體是離子型的晶體,由于結(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布,當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,稱為壓電現(xiàn)象。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層,使芯片的厚度增大,則芯片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。

膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢?鍍膜時(shí),膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動(dòng),測試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。

 

儀器參數(shù):

儀器尺寸

300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)

重量

6Kg

可配套儀器

EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650,
EMS 675, EMS 950, and the EMS 975

晶片座

置晶片裝置

密度范圍

1.55 to 23.0g/cm-3

測控范圍

5 to 999nm

鍍碳時(shí)精度

0.8nm

鍍金時(shí)精度

0.1nm

電源

230V 50 Hz (3 Amp Max)

 

訂購信息;

貨號

產(chǎn)品名稱

規(guī)格

91006

EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.

臺(tái)

91006-M

EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module

臺(tái)

91008

Spare Crystals

91009

Spare Glass Cylinder

個(gè)

 

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